구성원
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교원소개
Soo-Hyun Kim김수현
- 위치제1공학관 (102동) 401-1호
- 메일soohyunsq@unist.ac.kr
연구주제
원자층 증착(ALD) 기반 나노소재 합성, 차세대 금속화 공정 및 선택적 ALD 기술, 에너지 저장 및 변환용 나노기능성 소재 개발
- 연구분야반도체 공정 및 박막 증착, 나노소재 및 에너지 소재, 표면 및 계면 공학과 박막 제어
- 연구실나노소자 공정 연구실
나노소자 공정 연구실(Nano Device Process Laboratory (NDPL))
- 나노소자 공정 연구실은 원자층 증착법 (atomic layer deposition, ALD)과 영역 선택 원자층 증착법 (Area-selective ALD)에 대한 연구를 바탕으로 차세대 배선 공정/소재에 대한 연구를 수행하고 있습니다. 또한, 원자층 증착법을 이용한 나노 소재의 기능화에 대한 연구를 수행하고 있으며, 이러한 기능화된 나노 소재를 에너지 변환, 에너지 저장, 웨어러블 센서등으로의 적용 가능성을 탐색하고 있습니다.